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    晶体中微缺陷问题

    湖北十一选5开奖结果 www.tt1e.net 项目编号:XP383C0D3294

    项目状态:已发布

    项目分类: 非金属研发指导

    所在地:河南 / 洛阳

    需求内容:

    1、 轻重掺单晶中氧含量的差异?以及差异原因?

    2、 N型(111)单晶径向电阻率梯度为什么比其它晶向的大?如何改善?

    3、 关于Swirl缺陷。(1)Swirl缺陷形成的原因是什么?(2)单晶拉制过程中哪些因素会影响Swirl缺陷?(3)6〞轻掺磷〈100〉晶向的单晶棒时极易出现Swirl缺陷,针对6N0规格产品如何在拉制过程中控制?(4)对于已经检测出有Swirl缺陷缺陷的晶锭或抛光片,通过什么手段能够消除Swirl缺陷?

    4、 N型〈111〉晶向硅棒的径向电阻率梯度较大,若通过提高晶转解决,但会出现晶棒外表变形严重。怎么降低该品种单晶棒的径向电阻率梯度?

    5、 如何提高封闭式热场拉制的单晶的氧含量?

    6、 为什么重掺砷单晶的杂质条纹比重掺锑单晶杂质条纹严重?如何改善? 

    7、 管道的判断方法有哪些,管道对器件有何影响?

    8、 旋涡纵向分布规律?

    9、 单晶掉苞棒尾部滑移线消失位置有没有很好的观察工具?

    10、 N+<100>位错腐蚀方法?

    11、 单晶尾部基硼样块测量值,有异常偏高点。比如测量三个位置,有两个位置硼含量3.2E14,有一个位置硼含量是5E14,是什么原因造成的?对器件有影响吗?

    目前公司在这些问题上一直没有得到比较好的解决,希望能够得到好的技术支持。


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